超高純氣雙層管道施工工藝原理及操作要點

極高純硅烷用于半導(dǎo)體和太陽能薄膜工藝SiH4.磷烷PH3，砷烷AsH3.乙硼烷B2H6.六氟化鎢WF6.高純氨NH3等特殊氣體，易燃。.劇毒.強腐蝕等特精密半導(dǎo)體電子元件.它是制造新能源光電產(chǎn)品不可缺少的重要原材料。如果在生產(chǎn)過程中發(fā)生氣體泄漏，將造成非常嚴重的產(chǎn)品質(zhì)量和人身傷害事故。因此，為了確保安全，這種高純輸送管道選擇不銹鋼多管技術(shù)。

在管道施工過程中，清潔工作環(huán)境.管道內(nèi)外管道的清潔度.焊接和安裝質(zhì)量要求很高。本文將介紹高純特氣雙套管的工藝原理和施工操作要點。

雙套管工藝原理概述：

選用水平15°沿管介質(zhì)流向高純氮(999).999%)吹掃，用雙層管隔斷填充不銹鋼彈簧，然后用專用彎頭設(shè)備加工彎頭。雙層管內(nèi)外充純氬(99.自動軌道氬弧焊連接與軟金屬墊片端面密封連接，結(jié)合氦泄漏測量的工藝原理，保證內(nèi)表面管道的清潔度.密封性.彎頭質(zhì)量及管道焊接安裝質(zhì)量。

雙套管加工安裝操作要點：

1.清潔環(huán)境:現(xiàn)場設(shè)置三個預(yù)制加工清潔區(qū)，建立臨時凈化室，凈化水平不低于9級，保證管件加工的清潔度。進入凈化室的人必須穿干凈的衣服.潔凈帽.潔凈鞋.清潔手套等；

2.管道加工：管口加工是本施工技術(shù)的重點之一，管道切割.在清潔環(huán)境中預(yù)制，確保管道切割前表面無有害痕跡.損壞。管道開封前，應(yīng)準備好管道內(nèi)的氮氣清洗；

3.管道、配件及設(shè)備的連接及安裝：易燃運輸.雙層管毒特殊氣體的雙層管和閘閥.氣表與設(shè)備連接選用金屬墊片密封接頭（VCR）安裝時，金屬墊片采用軟鎳合金墊片，保證密封緊密；

4.管道安裝：雙層管道對接焊縫終接頭，選擇增加尾部滑套的安裝方式。

以上介紹了半導(dǎo)體超高純氣體雙套管技術(shù)的工藝原理和操作要點。雙套管技術(shù)在保證超高純氣體系統(tǒng)的人員安全和產(chǎn)品質(zhì)量方面發(fā)揮了良好的基本作用。